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產品特色：
◆ 高性能和高性價比的科學研究級AFM
◆ 支持多種工作模式和多種功能模塊擴展，滿足絕大多數的基礎科研應用
◆ 開放式的結構設計，支持更多定制化的功能選擇
◆ XYZ三軸獨立閉環壓電陶瓷掃描器，同時實現高精度的定位和高分辨掃描測量
◆ 閉環壓電陶瓷掃描測量無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%
技術參數：
掃描范圍 | XY閉環100*100um，Z閉環10 um | 系統噪音水平 | RMS≤30 pm |
掃描分辨率 | XY閉環0.2nm， Z閉環0.04nm | 圖像采樣點 | 最高4096*4096 |
掃描速度 | 0.1Hz~100Hz | 減震方式 | 氣浮式減震臺或主動式減震臺 |
標準成像模式 | 接觸模式、輕敲模式、相位成像、側向力模式（LFM） | ||
力學測量模式 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線、高級力譜成像、力學Mapping測量 | ||
電學測量模式 | 靜電力模式（EFM）、導電力模式（C-AFM）、開爾文探針力模式（KPFM）、壓電力模式（PFM）、掃描電阻模式（SSRM）、掃描電容模式（SCM） | ||
磁學測量模式 | 磁力模式（MFM）、可調制外加磁場 | ||
納米刻蝕功能 | 力學刻蝕、電學刻蝕 | ||
環境控制功能 | 液體成像模式、密閉氣氛控制模式（特殊氣體）、冷熱一體溫控模式（-20℃~200℃）、電化學測量模式 | ||
光學輔助功能 | 可適配體視顯微鏡、正置金相顯微鏡、倒置生物顯微鏡聯用 | ||
