工業(yè)型原子力顯微鏡

型　號(hào)FM-Nanoview LS- AFM

更新時(shí)間2025-10-30

所屬分類(lèi)工業(yè)型原子力顯微鏡

訪問(wèn)次數(shù)4902

產(chǎn)品描述：工業(yè)型原子力顯微鏡（FM-Nanoview LS- AFM），樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測(cè)。

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產(chǎn)品特色：

◆ 實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的大尺寸工業(yè)型原子力顯微鏡

◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測(cè)

◆ 樣品臺(tái)可拓展性強(qiáng)，非常便于進(jìn)行多儀器聯(lián)用實(shí)現(xiàn)原位檢測(cè)

◆ 一鍵式自動(dòng)掃描，可任意編程多個(gè)測(cè)試點(diǎn)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)

◆ 掃描圖像時(shí)樣品保持不動(dòng)，驅(qū)動(dòng)探針進(jìn)行XYZ三維移動(dòng)測(cè)量成像

◆ 龍門(mén)架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺(tái)

◆ 一體化的機(jī)械振動(dòng)減震及環(huán)境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統(tǒng)噪音水平

◆ 馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能快速進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品

◆ 掃描器非線性校正用戶(hù)編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)：

工作模式	接觸模式、輕敲模式	Z升降臺(tái)	步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，最小步長(zhǎng)10nm
選配模式	摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力	Z升降行程	20mm(可選25mm)
力譜曲線	F-Z力曲線、RMS-Z曲線	光學(xué)定位	10X光學(xué)物鏡
XYZ掃描方式	探針驅(qū)動(dòng)式XYZ掃描	攝像頭	500萬(wàn)像素?cái)?shù)字CMOS
XY掃描范圍	大于100um×100um	掃描速率	0.6Hz~30Hz
Z掃描范圍	大于10um	掃描角度	0~360°
掃描分辨率	橫向0.2nm，縱向0.05nm	運(yùn)行環(huán)境	Windows 10操作系統(tǒng)
XY樣品臺(tái)	步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，移動(dòng)精度1um	通信接口	USB2.0/3.0
XY移動(dòng)行程	200×200mm(可選300×300mm)	儀器結(jié)構(gòu)	龍門(mén)架式掃描頭，大理石底座
樣品載物臺(tái)	直徑200mm(可選300mm)	減震方式	氣浮式減震+隔音屏蔽罩(可選主動(dòng)式減震臺(tái))
樣品重量	≤20Kg

產(chǎn)品系列