工業(yè)型原子力顯微鏡

型　號FM-Nanoview LS- AFM

更新時間2026-01-29

所屬分類工業(yè)型原子力顯微鏡

訪問次數(shù)5094

產(chǎn)品描述：工業(yè)型原子力顯微鏡（FM-Nanoview LS- AFM），樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測。

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產(chǎn)品特色：

◆ 實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的大尺寸工業(yè)型原子力顯微鏡

◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測

◆ 樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯(lián)用實現(xiàn)原位檢測

◆ 一鍵式自動掃描，可任意編程多個測試點實現(xiàn)快速自動化檢測

◆ 掃描圖像時樣品保持不動，驅(qū)動探針進行XYZ三維移動測量成像

◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附式載物臺

◆ 一體化的機械振動減震及環(huán)境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統(tǒng)噪音水平

◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能快速進針方式，保護探針及樣品

◆ 掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品系列